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                      PECVD系統-等離子增強型化學氣相沉積系統

                      PECVD系統-等離子增強型化學氣相沉積系統

                      發布時間:2021-08-12 瀏覽次數:285
                          先簡單給大家介紹下PECVD系統的概念,PECVD系統就是為了使傳統的化學氣象沉積(CVD)反應溫度降低,在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來促進反應,所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統(PECVD)。

                          諾泰制作的混氣管式PECVD為最新款,綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點,在PECVD前端加入了氣體預熱區,實驗證明此結構沉積速度快,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發的控制系統,使得操作更加簡便,功能更加強大。
                         
                          當前國內PECVD鍍膜的主流為管式PECVD鍍膜法,即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進料的石英管中進行沉積。沉積的均勻性與電極和腔室的設計很有關系,另外管式PECVD的氣流是從石英管末端開始,這樣也會造成工藝氣體分布的不均勻,從而也會導致太陽能電池表面成膜的不均勻。
                      管式pecvd系統

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