專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                      • 多種國家專利

                        研發實力雄厚
                      • 定制經驗豐富

                        強大的技術團隊
                      • 十年業內經驗

                        客戶信賴的品牌

                      等離子體增強化學氣相沉積系統

                      等離子體增強化學氣相沉積系統

                      等離子體增強化學氣相沉積系統

                      等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜技術生長的一種系的制備技術。

                      產品介紹:
                          等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜技術生長的一種系的制備技術。我公司依據實驗要求設計制作該款設備以適應各類薄膜研究的需要。

                      主要功能和特點:
                      1、采用專業加熱元件,爐膛保溫材料采用多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強度高,無雜球,純度高,節能效果明顯優于國內纖維材料。
                      2、整個爐體采用雙層內膽式結構,中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度達到最高點,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
                      3、爐膛采用節能材料制作,整機能耗僅僅只有同等傳統電爐的1/3,節能環保。
                      4、超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠具有多重防護功能。
                      5、PECVD管式爐系統由:射頻電源,管式爐加熱區系統,質子流量計供氣系統,真空系統,氣體定量系 統組成。

                      產品參數:

                       
                      產品名稱 PECVD
                       
                      產品型號 PT-PECVD
                      500W 射頻電源
                      匹配功率范圍 0-500W+1%可調
                      工作頻率 13.56MHZ +- 0.005%
                      反射功率 最大200W
                      匹配方式 自動
                      輸出接口 UHF或N型或7/16(L29)
                      冷卻 強制風冷
                      電壓頻率 220V 50Hz
                      匹配阻抗范圍 實部0-80Ω 虛部-j200~+j200(可根據負載調節阻抗)
                      管式加熱系統 
                      滑道 帶滑道,可手動滑動爐膛,實現快速升溫或冷卻功能
                      加熱區長度 300mm
                      爐管尺寸 60mm x1600mm 外徑x長
                      爐管材質 高純石英管  (SiO2 ≥ 99.99%)
                      工作溫度 ≤1100℃
                      溫控系統 智能化30段PID微電腦可編程自動控制
                      溫控精度 ±1℃(具有超溫及斷偶報警功能)
                      加熱速率 建議0~10℃/min
                      加熱元件 電阻絲
                      額定電壓 單相220V 50Hz
                      可通氣體 氮氣、氬氣等惰性氣體
                      測溫元件 熱電偶測溫
                      殼體結構 雙層殼體結構帶風冷系統
                      真空法蘭 法蘭一端帶1/4”卡套接頭進氣口,60轉KF50快裝法蘭。另一端帶控壓閥,氣動泄壓閥和放氣閥。
                      供氣系統 四路精密質子流量計:
                      測量精度:±1.5% F.S.
                      流量范圍:  0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣)
                      流量范圍:  0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣)
                      流量范圍:  0~200 sccm(氬氣)
                      流量范圍:  0~500 sccm(含10%甲烷的氬氣)
                      通過觸屏來調節氣體流量

                       
                      真空系統 旋片泵,真空度在空爐冷態可達1pa,
                      真空計:進口數顯真空計實時顯示真空度,精度高。
                      控壓系統 控壓范圍 -20kpa 到 20kpa (也可按客戶要求設計)
                      自動化控制
                      15”觸摸屏
                      觸摸屏界面集成控制爐子,真空泵,質量流量計以及射頻電源。爐子部分需要先設好溫度時間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停,真空度,氣體流量,射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。
                      標準配件 數顯真空計2個,石英爐塞1對,高密封法蘭1對,氟膠密封圈2對,高溫坩堝鉤1把,拆卸法蘭六角扳手1把,保修卡說明書1份
                      備注 法蘭,質量流量計,閥門,管路等用316不銹鋼材質
                      上一篇:混氣PECVD設備
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