專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

                      咨詢電話:180-3717-8440
                      真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
                      咨詢產品
                      • 多種國家專利

                        研發實力雄厚
                      • 定制經驗豐富

                        強大的技術團隊
                      • 十年業內經驗

                        客戶信賴的品牌

                      混氣PECVD設備

                      混氣PECVD設備

                      混氣PECVD設備

                      PT-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。

                      產品描述:
                          PT-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。
                       
                      產品參數:
                       
                      型號 PT-T1200 PECVD
                      第一部分:標準件
                      等離子射頻電源
                       
                      輸出功率 5 -500W可調,均勻性 ± 1%
                      RF頻率 13.56 MHz ±0.005%
                      反射功率 最大 200W
                      射頻輸出端口 50 Ω,N型
                      噪音 <50 dB.
                      冷卻 空氣冷卻
                      管式爐部分
                       
                      顯示 LED
                      形式 分體式和上部可打開
                      連續工作溫度 ≤1100℃
                      升溫速率 建議:0~10℃/min(最大20℃/min)
                      溫區長度 500mm
                      加熱元件 含鉬電阻絲
                      熱電偶 K型
                      溫度均勻性 ±1℃
                      爐管尺寸 200m外徑 X 長度1600mm
                      材質:石英管 
                      溫度控制 通SCR功率控制進行 PID 自動控制
                      加熱曲線 30步可編程
                      法蘭 不銹鋼帶閥真空法蘭 
                      電壓 380V, 50 Hz, 三相最大 20KW
                      真空泵  旋片真空泵
                      流量:4L/S
                      旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。
                      質量流量計 三款精密質量流量計:
                      MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm
                      MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
                      MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm
                      (或根據您的要求)
                      底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合
                       
                      數字真空計 皮拉尼數字真空計 
                      混氣pecvd設備
                      上一篇:CVD設備
                      印度人粗长硬配种视频播放 <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>