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                        • 多種國家專利

                          研發實力雄厚
                        • 定制經驗豐富

                          強大的技術團隊
                        • 十年業內經驗

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                        高真空傾斜旋轉pecvd系統

                        高真空傾斜旋轉pecvd系統

                        高真空傾斜旋轉pecvd系統

                        此高真空傾斜旋轉pecvd系統可混合1-4種氣體用于PECVD爐,廣泛用于生產高品質的SiO2薄膜等。

                        產品描述:
                            此PT-PECVD是一種分體式管式爐,直徑60mm石英管,真空泵和4通道質量流量計氣體流動系統??苫旌?-4種氣體用于PECVD爐,廣泛用于生產高品質的SiO2薄膜等。

                        技術參數:

                        型號

                        PT-PECVD

                        顯示

                        液晶觸摸屏

                        打開方式

                        分體式和上部可打開

                        限度溫度

                        1200℃短時間

                        連續工作溫度

                        ≤1100℃

                        升溫速度

                        建議:0~10℃/min(最大20℃/min)

                        溫區

                        400mm

                        加熱元件

                        含鉬電阻絲

                        熱電偶

                        K型

                        溫度控制
                        精度

                        ±1℃

                        管尺寸

                        OD60mm x 100mm x 60mm
                        管長:1600 mm

                        材質:石英管

                        溫度控制

                        通過SCR功率控制進行PID自動控制

                        加熱曲線

                        30步可編程

                        真空法蘭

                        不銹鋼真空法蘭帶閥、進出氣口
                         磁流體密封旋轉接頭

                        電壓

                        220V,50Hz,單相
                        (或根據您的要求)

                        定制功能

                        旋轉和傾斜
                        傾斜角度:0-30°(建議:0-15°)
                        管子轉速:0-10r/min
                         
                        通訊口
                        通過計算機控制溫度、質量流量、轉速和真空泵。
                         

                        輸出功率

                        5 -500W 可調,穩定性 ± 1%

                        射頻頻率

                        13.56 MHz ±0.005% 穩定性

                        反射功率

                        最大 200W

                        匹配

                        自動的

                        噪音

                        <50 分貝。

                        冷卻

                        空氣冷卻。

                        渦輪真空泵

                        極限真空2.7*10-3 Pa。

                        型號:GSP-5

                        抽速:6L/S

                        輸入電壓:500W

                        額定轉速(rpm):1800

                        分貝(A):54

                        型號:FF-620F

                        抽速:600L/S

                        額定轉速(rpm):27000

                        軸承:陶瓷軸承注油量:150ml

                        渦輪真空泵將被設計成帶輪子的推車。

                         

                        四臺精密質量流量計:

                        MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm

                        MFC 2&3:氣體流量范圍為 0~100 sccm

                        MFC 4:氣體流量范圍從 0~100sccm

                        一個氣體混合罐安裝在底殼上,帶有4個不銹鋼針

                        底殼左側裝有閥門,用于控制4種氣體的混合


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