專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                        真空爐,箱式爐,管式爐,氣氛爐
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                        • 多種國家專利

                          研發實力雄厚
                        • 定制經驗豐富

                          強大的技術團隊
                        • 十年業內經驗

                          客戶信賴的品牌

                        定制CVD管式爐

                        定制CVD管式爐

                        定制CVD管式爐

                        此定制CVD管式爐包含3大部分,第一部分為標準加熱,第二部分為真空泵系統,第3部分4 路質量流量計.

                        產品介紹:

                        第一部分:標準件加熱
                        管式爐
                        顯示 LED顯示屏(電腦控制)
                        極限溫度 1200
                        連續溫度       ≤1100℃
                        溫區 150*200*150mm(3區)
                        獨立溫控
                        熱電偶 K型
                        溫度精度  ±1℃
                        管尺寸 160x 1000mm (OD x minimum L)
                        150mm(ID±2mm) 厚度 5mm
                          材質:石英管
                        溫度控制 通過 SCR 功率
                        控制進行PID 自動控制
                        加熱曲線 30步可編程
                         
                        安全元件
                        過溫報警 過流保護 開門時斷電
                        熱電偶斷線指示

                        真空法蘭
                        一側為帶閥門的不銹鋼水冷真空法蘭,另一側為水冷鉸鏈式真空法蘭。
                        包括氣動開關閥,與 PSV 和 MFC 相連(當壓力超過 1 bar 時,MFC 和爐子都應關閉,PSV 釋放
                        高壓。
                        三通閥 一個用于 KF25 真空閥
                        第二個用于 1/8” 閥門
                        第三個用于 1/2” 閥門(到鼓泡器)
                        電源供應 380V 50/60Hz 三相
                        輸出功率 基于最終設計

                        第二部分 真空泵系統
                        真空泵 VRD-8旋片泵抽速2.2L/s真空泵+擋板閥
                        真空度:-0.1mpa(相對壓力)
                        第 3 部分 4 路質量流量計
                          
                        4路質量流量計(電腦控制)
                        四個精密質量流量計:
                        MFC1: 0 to 2000 sccm, Accuracy ±-1.5%FS H2 MFC2: 0 to 2000 sccm Accuracy ±-1.5%FS CO2
                        MFC3: 0 to 2000sccm Accuracy ±-1.5%FS CH4 MFC4: 0 to 200 sccm
                        精度 ±-1.5%FS Ar4 不銹鋼針閥安裝在底殼左側,用于手動控制 4 種氣體混合
                        MFC 可在計算機上控制。
                        混合氣體在流入爐管前會被預熱到100-200C。
                        SS 螺旋管 

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