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                        • 多種國家專利

                          研發實力雄厚
                        • 定制經驗豐富

                          強大的技術團隊
                        • 十年業內經驗

                          客戶信賴的品牌

                        高真空PECVD系統

                        高真空PECVD系統

                        高真空PECVD系統

                        諾泰高真空PECVD系統是由管式爐,真空系統、供氣系統、射頻電源系統等組成。系統主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。

                        產品概述:
                           諾泰高真空PECVD系統是由管式爐,真空系統、供氣系統、射頻電源系統等組成。系統主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。PECVD系統增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高等優點。

                        高真空PECVD系統主要特點

                        1.通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

                        2.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

                        3.可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

                        4.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

                        5.廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

                        技術參數:

                        產品名稱

                        高真空PECVD系統

                        滑軌管式爐部分

                        產品型號

                        PT-T1200

                        爐管尺寸

                        Φ50mmX1600mm

                        爐管材質

                        石英管

                        加熱區

                        300mm

                        工作溫度

                        1100℃

                        最高溫度

                        1200℃

                        溫控方式

                        K型熱電偶

                        控制方式

                        觸屏控制,帶獨立搖臂,可以根據實際使用需求,調節溫控屏的角度,使用更方便

                        控溫精度

                        ±1℃

                        溫控保護

                        具有超溫和斷偶保護功能

                        升溫速率

                        0-20ºC/min  ,建議10ºC/min

                        加熱元件

                        含鉬電阻絲

                        工作電壓

                        AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

                        加熱功率

                        3KW

                        爐膛材料

                        氧化鋁多晶纖維

                        爐體結構

                        爐體帶滑軌,可實現快速升溫和降溫

                        法蘭接頭

                        標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥

                        密封系統

                        該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。

                        殼體

                        不銹鋼殼體

                        選配

                        輔助降溫風扇

                                             真空系統部分

                        名稱

                        真空系統

                        主要參數

                        1.采用進口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa

                        2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;

                        3.數字式真空顯示,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高

                        氣路系統部分

                        名稱

                        四路質量流量計

                        主要參數

                        四通道精密質量流量計:觸屏控制,數字顯示,自動控制。流量范圍流量范圍:

                        1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調

                        2.一個混氣罐

                        3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體;

                        4.進出氣口:3進1出

                        流量控制:手動旋轉式調節

                        連接方式:雙卡套連接

                        等離子電源部分

                        名稱

                        500W等離子電源

                        功率范圍

                        0-500W(連續可調)

                        工作頻率

                        13.56MHZ+0.005%

                        工作模式

                        連續輸出

                        射頻輸出阻抗接口

                        N-type,female(50Ω)

                        功率穩定度

                        ≤2W

                        最大反射功率

                        70W

                        電源保護設置

                        DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

                        供電電壓/頻率

                        單相交流(187V-253V)50-60HZ

                        冷卻方式

                        風冷

                        整機尺寸

                        88X483X550 MM

                        整機重量

                        13.5KG

                        認證

                        ISO認證、CE認證

                        售后服務

                        質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

                        高真空pecvd系統
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