專注于高溫加熱設備的工匠|真空爐|箱式爐|管式爐|氣氛爐|高溫爐|PECVD系統|氣氛燒結爐

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                      • 多種國家專利

                        研發實力雄厚
                      • 定制經驗豐富

                        強大的技術團隊
                      • 十年業內經驗

                        客戶信賴的品牌

                      四路高溫真空CVD涂層設備

                      四路高溫真空CVD涂層設備

                      四路高溫真空CVD涂層設備

                      四路高溫真空CVD設備由滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計

                      產品概述:

                              四路高溫真空CVD設備由滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計,可以對多種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。 KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。

                      適用范圍:

                             四路高溫真空CVD設備是一種特殊的高真空CVD系統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、CVD涂層、真空退火用的理想產品。

                      標準配件:

                      氣煉石英爐管

                      4路質子流量計

                      熱電偶

                      氣煉石英爐管×1

                      浮子混氣系統×1

                      真空系統×1

                      高溫手套

                      坩堝鉤

                      熱電偶

                      高溫手套×1

                      坩堝鉗×1

                      熱電偶×1

                      剛玉坩堝

                      爐塞

                      馬弗爐中文說明書

                      剛玉坩堝×2

                      爐塞×2

                      中文說明書×1

                      注:爐管、坩堝可按用戶需求選配合適的款型

                       

                      產品名稱

                      四路高溫真空CVD設備

                      產品型號  

                      PT-T1200-S60K-4C

                      工作溫度         

                      1100℃(可選)

                      最高溫度

                      1200℃(最高可選1700℃)

                      加熱  區

                      三溫區(可定制)

                      加熱區長度                          

                      200+350+200mm(可根據需求定制)

                      加熱速率

                      建議:0- 10°C/min {最大:0-20℃/min}

                      溫控精度

                      ±1℃(具有超溫及斷偶報警功能)

                      加熱元件

                      摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其最大程度延長使用壽命)

                      加熱速率

                      0~20 ℃ / 分

                      工作電壓                       

                      220V,50HZ,單相

                      功         率

                      4KW

                      控溫方式

                      智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

                      質子流量計  

                      4路精密質子流量計:數字顯示、氣體流量自動控制。 MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 。
                       氣路:4路 流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套 一個混氣罐。 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量。

                      電氣認證

                      CE認證

                      售后服務

                      12個月質保、終身保修

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